欢迎进入高砂电气(苏州)有限公司网站!
0512-67610522
产品中心
Product Center
热门搜索:
MTV-2A-1/4UGHT-2高砂高温高压阀 MTV消解阀 COD用电磁阀
高砂电气分化诱导系统
DAP-500P-N1E医疗器械用泵
WTA-2T-1/4UG高砂电气聚四氟乙烯电磁阀 微小体积 隔膜阀
RP-SX进口微型泵
EXAK-3高砂电气 微型隔膜阀 分析仪器用微型阀
XTA-2E-10MFG2U高砂多连体电磁阀 ETFE成型 水质分析仪用阀
WTB-3K-1/4UG高砂电气生化免疫用隔膜阀 微小型体积
RP-Q高砂自动洗剂装置用微型蠕动泵 RP-Q系列
WTA-2R-N3F新能源用电磁阀
KV-2-NCG高砂小通径阀 高精度多连体电磁阀 O型圈
WTA-2R-N4F多领域适用电磁阀
CTV-3-1/4UKG-S高砂电气微小型隔膜阀 三通式 CTV系列
MTV-3K-NN4高砂电气 医疗器械用微型隔膜阀 3通电磁阀
SDMP306D/302D高砂电气小型压电泵/低噪音,低功耗
PDT-4C1高砂气体控制阀门 耐腐蚀 非隔膜阀

产品简介
半导体涂胶镀层控制阀不是单一阀种,而是两类工况的统称。涂胶显影侧:光刻胶、稀释剂、显影液、溶剂供给通断与切换。镀层/湿法侧:电镀液、化学镀液、CMP 添液、酸碱药液的通断或流量调节。
| 品牌 | TAKASAGO/高砂电气 | 应用领域 | 医疗卫生,环保,化工,电子/电池,制药/生物制药 |
|---|
半导体涂胶镀层控制阀覆盖光刻胶涂覆、湿法镀层环节,它不是单一阀种,而是两类工况的统称:
涂胶显影侧:光刻胶、稀释剂、显影液、溶剂供给通断与切换
镀层/湿法侧:电镀液、化学镀液、CMP 添液、酸碱药液的通断或流量调节。
主选高纯 PFA 隔膜阀,介质只碰 PFA 阀体+隔膜,金属执行件隔离,若需光刻胶流量微调,可用伺服/气动定位器做低剪切调节 。PFA 对内壁粗糙度、颗粒物脱落的控制优于 PTFE;PVDF 对环己酮/NMP 长期耐受差,不碰光刻胶主路。
由于电磁阀类型较多且可按客户需求量身定制,选型报价或获取产品资料请咨询客服。





