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半导体湿法清洗电磁阀

产品简介

半导体湿法清洗电磁阀是用于晶圆清洗、刻蚀、显影等设备中,控制高纯水或强腐蚀性化学液通断的电磁直动阀。它通常不是湿法台主干路的主要选择(主干多配 PFA 隔膜阀),而是用在小流量药液支路、超纯水支路、微量加液、吹扫/先导控制这些需要电控快速响应、又不便布气源的位置。

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更新时间:2026-10-16
厂商性质:生产厂家
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品牌TAKASAGO/高砂电气应用领域医疗卫生,环保,化工,电子/电池,制药/生物制药

半导体湿法清洗电磁阀是用于晶圆清洗、刻蚀、显影等设备中,控制高纯水或强腐蚀性化学液通断的电磁直动阀。它通常不是湿法台主干路的主要选择(主干多配 PFA 隔膜阀),而是用在小流量药液支路、超纯水支路、微量加液、吹扫/先导控制这些需要电控快速响应、又不便布气源的位置。

工作原理

1、直动式电磁驱动:线圈通电→衔铁带动阀芯/膜片动作→流道开闭,无需先导气源。

2、隔膜隔离式(高纯型):药液侧用 PTFE/PFA 隔膜隔离,弹簧不接触介质,避免金属离子析出。

由于电磁阀类型较多且可按客户需求量身定制,选型报价或获取产品资料请咨询客服。



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