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半导体点胶机电磁阀

产品简介

晶圆清洗电磁阀是半导体湿法清洗设备中的关键流体控制元件,主要用于精准控制高纯清洗液(如 SC-1、SC-2、去离子水等)的通断与回流,其核心要求是‌零金属污染‌、‌超高洁净度‌及‌耐腐蚀性‌。

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更新时间:2026-07-20
厂商性质:生产厂家
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品牌TAKASAGO/高砂电气应用领域医疗卫生,环保,化工,电子/电池,制药/生物制药

晶圆清洗电磁阀是半导体湿法清洗设备中的关键流体控制元件,主要用于精准控制高纯清洗液(如 SC-1、SC-2、去离子水等)的通断与回流,其核心要求是‌零金属污染‌、‌超高洁净度‌及‌耐腐蚀性‌。

典型应用场景

1、循环回流系统‌:在固定清洗系统中,电磁阀用于打开清洗剂回流路径,将清洗液通过回流泵过滤后储存至溶剂罐,实现闭环清洗 。

2、多化学品供应‌:作为空气控制器或液体切换阀,配合隔膜泵(如 Iwaki 系列)精确输送多种高纯化学品,去除晶片颗粒或缺陷 。

3、温控模块‌:在光刻机等前道设备的温控气路或冷却系统中,防止微小颗粒混入导致晶圆蚀刻偏差

由于电磁阀类型较多且可按客户需求量身定制,选型报价或获取产品资料请咨询客服。



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