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产品简介
半导体液体电磁阀,是专门用在芯片制造中控制化学液、超纯水、光刻胶、显影液、刻蚀液等液体介质通断与流量的电磁执行元件。
| 品牌 | TAKASAGO/高砂电气 | 应用领域 | 医疗卫生,环保,化工,电子/电池,制药/生物制药 |
|---|
半导体液体电磁阀,是专门用在芯片制造中控制化学液、超纯水、光刻胶、显影液、刻蚀液等液体介质通断与流量的电磁执行元件。
在半导体制造中的主要应用场景。
1. 液体电磁阀贯穿晶圆制造的前道光刻、刻蚀、清洗、CMP 等关键工序:
2. 光刻工艺:控制光刻胶的供给与涂布流量,以及显影液的输送,直接影响光刻图案的精度
3. 湿法刻蚀:控制 HF、KOH、HNO₃ 等强腐蚀性刻蚀液的流动,典型如高温 KOH(80-180℃)输送,对阀门的控污能力要求高
4. 清洗与 CMP:超纯水(UPW)冲洗、抛光液输送与压力控制,涉及庞大的厂务水系统
5. CVD/PVD 辅助液体:部分工艺中化学液、冷却液的精确配比与切换
6. 化学品配送系统(CDS):从储罐到工艺机台的整条管路中,液体电磁阀作为"精准开关"控制化学品的按需投送
由于电磁阀类型较多且可按客户需求量身定制,选型报价或获取产品资料请咨询客服。





